7037系列

适用于半导体应用的精度为0.5％的精密脉冲功率传感器

精湛的准确性！

7037系列RF脉冲功率传感器为实验室和半导体Fab环境带来惊人的可追溯精度。旨在为研发和工艺工程师提供易用性和可靠的数据。

在校准的频率下，这些传感器的精度为0.5％，可用于测量RF脉冲波形内的门控功率。校准可追溯到美国国家标准技术研究院（NIST），因此您可以对这些传感器提供的测量的质量和准确性充满信心。

产品特点

· 时域显示

· 多电平脉冲内多达4个状态的平均功率测量

· 在校准频率下，在整个动态范围内能够实现±0.5％的功率测量精度。

· NIST可追溯校准

· 谐波滤波

· 外部同步输入

· 射频互锁（可选）

· 可通过SCPI命令集编程

优点：

· 通过射频发生器的校准和验证，这些高精度传感器使人们对射频发生器的输出充满信心。

· 使用VPM3-MSP软件记录和分析来自实验配方的RF功率数据，以简化流程开发。

· 现场过程监视允许在运行时实时监视过程以检测异常。

· RF脉冲波形的时域分析可以更仔细地观察高功率RF脉冲。

产品选择指南（于2020年推出）

· 脉冲功率传感器可以在单个脉冲内测量4种状态。

· 取决于重复率，最小状态宽度约为脉冲重复率周期的1％。

· 取决于重复率，最大状态宽度约为脉冲重复率周期的99％。

· 对于重复率接近规格下限或上限的应用，请参考用户手册以获取确切的限制。

产品规格：

编号

7037系列

项目名

精密脉冲传感器

测量类型

连续波和多态脉冲射频功率

功率测量精度

校准频率下为0.5％在传感器带宽内的所有其他频率下为1.5％

方向性

28dB

驻波比范围

1.0：1至2.0：1

插入损耗

<0.05dB

插入式驻波比

1.05

阻抗

50Ω

射频连接器

QC 7/16 DIN，N，HN，LC，QRM和其他可应要求提供

系统

建议的校准间隔： 6个月
接口： USB 2.0
电源：通过提供的USB电缆
外部同步输入： TTL高，2-5V；TTL低，0-0.85V
兼容于：虚拟功率计（VPM3-MSP）软件

环境因素

工作温度： 15至35°C（59至95°F）
存储： -20至70°C（-4至158°F）
湿度：最高95％（无冷凝）
海拔：最高15,000 ft（4,500 m最高）

物理

尺寸： 155 x 50 x 95毫米（6.0英寸x 1.9英寸x 3.7英寸）（
不包括QC连接器）
重量：小于3磅，1.4千克

资质认证

机械冲击和振动：设计符合MIL-PRF-28800F 3类
EMC
EMC指令（2004/108 / EC）
欧洲标准： EN 61326—用于测量，控制和实验室使用的电气设备；EMC要求
测试规范（针对辐射抗扰度）： EN 61000-4-3 —测试和测量技术-10V /米
CE标志：符合
RoHS要求：符合