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精密油冷假负载
Precision Oil-Cooled Dummy Load
为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要精确的RF 功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
BIRD 提供超稳定，低VSWR 的，针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速精确测量的负载。当运作在额定区域时，Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。
负载针对不同时间长度校准，重复性极佳且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差，控制一个更关键的过程变量稳定。
Moduloads 高功率液冷负载
Moduloads High Power Load
模组液冷负载系列是一款集成式水循环冷却负载，需要 115伏或 230 伏的电压输入。模组负载能够有效地将高达 25 至 50kW 功率等级的射频能量耗散，支持频率范围延展至900MHz。负载芯 固定在模组中心。 负载模组结构紧凑，提供联锁控制电路提供故 障安全保护，可在系统故障发生时保护发射机等重要系统单元。
l 结构紧凑
l 一体式水循环模组系统
l 内置护锁开关，保证 RF 安全环境
l 配置有承重移动运输系统
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型号 |
功率等级 |
频率范围 |
冷却方式 |
预设接口 |
重量（kg） |
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8890-320 |
5kW |
DC-2.4GHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
33kg |
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8921 |
5kW |
DC-1GHz |
自然冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
57kg |
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8931-230 |
10kW |
DC-1GHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
65kg |
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8921SC13 |
5kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
自然冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
57kg |
|
8931-230SC13 |
10kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 LC（f）接口 |
65kg |
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8941-230SC13 |
15kW |
DC-28MHz *13.56MHz |
230VAC 风扇冷却 |
QC 型 DIN（f）接口 |
107kg |
型号
功率等级
频率范围
接口类型
尺寸
重量
8645B230
25kW
1kHz-900MHz
3-1/8’’ EIA Flg
723x497x528
70kg
8655B230-5
50kW
1kHz-900MHz
3-1/8’’ EIA Flg
1347x497x528
125kg
*Dolly 选件
6771-011 25kW 水冷负载无尘室专用推车
6772B011 50kW 水冷负载无尘室专用推车
*使用前请详细阅读 manual 或在 BSC 指导下使用
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