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医疗卫生

在同一设备上综合地应用表面光伏谱,结合伏谱和光电流谱三种方法对半导体材料和器件的少子扩散长度做随工艺的非破坏性跟踪测定,本方法具有设备简单,方法容易,不破坏样品等优点,可作为监测材料质量和器件工艺水平的重要手段。

详细介绍

在同一设备上综合地应用表面光伏谱,结合伏谱和光电流谱三种方法对半导体材料和器件的少子扩散长度做随工艺的非破坏性跟踪测定,本方法具有设备简单,方法容易,不破坏样品等优点,可作为监测材料质量和器件工艺水平的重要手段。

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