瞬态实时测试方法是基于稳态测试方法相对应而言，由于稳态热阻的测量要达到热平衡，对功率器件还要在测试时装上散热器，因此测试时间比较长，操作比较复杂，只适合进行抽样检验，而不适合对器件进行100%的筛选。  在半导体器件工艺生产过程中，热阻测试仪为快速、有效地检验器件芯片和外壳之间的烧结质量（热阻），可以采用瞬态热阻（标准中称为瞬态热响应）的筛选方法。该方法向器件施加一电功率脉冲，在脉冲结束后立即测量器件的热敏参数变化，以推断器件芯片的温升，进而推断器件烧结质量（烧结热阻）的好坏。